? 5 -2000微米

LDS單軸版本.

該解決方案用于高精度測量精細(xì)線直徑。

其測量原理是基于激光的衍射，不受位置和振動的影響。

其測試儀器的所有組件都是靜態(tài)設(shè)計(jì)，測試時(shí)，不需要移動儀器的組件，從而確保測量精度。其測試儀器用于在線測量，能夠連續(xù)高精度的測量單軸直徑。